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いま、真空排気系で何が起きているのか？
を、その対策とともに徹底解説している事例集です。
真空装置管理担当者に向けた、現場で役立つ一冊として活用されています。
本研究会では、あらたに報告のあったトラブル内容を分析し、解決に導く活動をしています。研究会で扱ったトラブル事例は、その解決策とともに定期的に事例集冊子に加えていきます。
冊子の最新版を無料配布しています。ご希望の方は、お問い合せフォームに、「冊子希望」と送付先住所を記載のうえ、お申し込みください。
2019年１０月 「排気系の困った！を解決」冊子が新たに半導体・液晶プロセスガス排気系研究会（SESIL)から発刊されました。
A5判 フルカラー 20ページ に、最新の解決事例集をはじめ排気系トラブルの発生メカニズムについて解説しています。
冊子の最新版を無料配布しています。ご希望の方は、お問い合せフォームに、「冊子希望」と送付先住所を記載のうえ、お申し込みください。